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钛泵的性能及除气机理是什么?

钛泵,就是在设备制造选材时,利用钛及钛合金所具有的耐腐蚀、比重小、强度高、高低温综合机械性能好的特点,在过流部件、叶轮以及填料综合密封等节点使用钛或钛合金制造。现在就来介绍下钛泵的性能及除气机理。
钛泵
一、钛泵的性能

1.极限压强:10-8帕。

2.启动压强:10-2帕。

3.抽速:钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关,磁场强时抽速也大,对应最佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合,可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。

4.钛泵寿命:

a、阴极耗尽寿命,阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。

b、阳极剥落寿命,阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落,导致泵内压强的不规则强烈变化,使泵无法使用。

c、阳极吸饱寿命,阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气,当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。在正常使用情况下,溅射离子泵的寿命可达几万小时。

二、钛泵除气机理

1.对活性气体的抽除对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。

2.对氢气的抽除对氢气的抽除有化学吸附,也有扩散、吸收、溶解作用。

3.对惰性气体的抽除对惰性气体的排除,主要靠离子“掩埋”,被电离的惰性气体的离子轰击阴极时,

有以下三种情况:

a、离子直接打入阴极内,或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内;

b、斜射的离子切入阴极表面,离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方;

c、离子没有打入板内,但是从阴极得到电子而复合为中性原子,然后又反射到阳极内表面的钛膜中。 
 

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